현미경
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작성일 23-12-08 21:41
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전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 波動성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다.
전자총으로부터 생산된 전자빔은 전자기둥에 있는 집광렌즈 및 대물렌즈에 의하…(skip)
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전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 波動(파동)성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 가속전압은 대개 6...
다.
레포트/공학기술
설명
전자현미경은 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 파동성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 촛점을 형성한다. 입사빔이 시편에 충돌하면 시편에서는 2차전자(secondary electron)들이 방출되는데, 이 2차전자들이 닿으면 빛을 방출하는 scintillation counter에 모아지고 이 빛의 신호들이 photomultiplier에 의해 증폭된 다음 확대된 영상을 스크린 혹은 CRT에 보여주게 된다된다. 가속전압은 대개 60-100 keV이고 illumination source로서는 텅스텐으로 만든 filament를 사용하는데, 이를 전자총 (electron gun)이라고 부른다. 전자총에 고전압이 걸리면 filament가 2700 K 까지 온도가 올라가서 filament의 끝부분에서 열전자(thermal electron)를 방출하게 된다(1차전자). 이 방출된 열전자 혹은 전계전자(Field-emitted electron)들은 집광렌즈(condenser lens)에 의해서 모아지고 대물렌즈(objective lens)에 의해서 시편의 표면에 초점이 형성된 다음 주사 시스템(scanning system)의 electromagnetic deflection coil에 의해서 시료의 표면을 훑게(scan) 된다된다.
